產(chǎn)品描述
隨著電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,各種高純電子氣使用增長迅速,這些氣體的純度要求很高(PPb級),給生產(chǎn)也提出更高的要求。興魯空分憑借多年積累的各種氣體提純技術和工藝,先后設計制造了高純氣體設備,超高純電子氮氣,高純氦,高純甲烷等系列設備??筛鶕?jù)用戶使用的要求定制超純氣體設備。
隨著電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,各種高純電子氣使用增長迅速,這些氣體的純度要求很高(PPb級),給生產(chǎn)也提出更高的要求。興魯空分憑借多年積累的各種氣體提純技術和工藝,先后設計制造了高純氣體設備,超高純電子氮氣,高純氦,高純甲烷等系列設備??筛鶕?jù)用戶使用的要求定制超純氣體設備。